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Editore: Aracne
Reparto: Ingegneria e attivita affini
ISBN: 9788854802292
Data di pubblicazione: 30/11/1999
Numero pagine: 492
Il volume descrive le fasi di fabbricazione dei principali dispositivi elettronici integrati, le tecniche di fabbricazione e gli aspetti fisico-chimici inerenti, le apparecchiature, i modelli cinetici per la simulazione di processo. Con la collaborazione di Francesca Magno.
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